參考價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品詳情
實(shí)現(xiàn)1秒40次的超高速反饋控制!
精度±0.1%、可添加2通道控制處理、
多存儲(chǔ)功能(通過(guò)利用設(shè)定變化率限幅器、區(qū)域鏈接、滲透時(shí)間實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)易程序控制功能)、
級(jí)聯(lián)控制功能、功率前饋功能、2系統(tǒng)通信接口等等各種功能。
用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中RTP(Rapid Thermal Process:急速加熱處理)操作