安捷倫Agilent FRG-700/702 皮拉尼反磁控真空規(guī)
安捷倫 FRG-700 規(guī)為全量程規(guī),在緊湊且經濟的規(guī)管內集成兩種測量技術,以測量從 5 x 10 -9 mbar 至大氣壓(3.8 x 10 -9 Torr 至大氣壓)的工作壓力和極限壓力。帶有一個對數模擬輸出信號的單一緊湊規(guī)管可大幅降低安裝、設置和集成的復雜性。其優(yōu)點在于降低成本并顯著降低對寶貴空間的要求。FRG-702 為 FRG-700 的全金屬型號,內含金屬密封的真空密封穿導件。該規(guī)管可以在比 FRG-700(法蘭處*高 55℃)更高的溫度(法蘭處*高 150℃)下工作。
特性
兩種測量技術集于一臺緊湊、一體化、經濟的封裝中
測量過程和極限壓力從 5 x 10-9 mbar 至大氣壓(3.8 x 10-9 Torr 至大氣壓)
一體化、緊湊的規(guī)管帶有對數模擬輸出,可大幅降低安裝、設置和集成的復雜性
適合監(jiān)控高真空壓力、蒸鍍和濺鍍系統(tǒng)的極限壓力,以及中高真空范圍內的普通真空測量和控制
寬測量范圍,從 5 × 10-9 mbar 至大氣壓
燈絲不易毀壞
優(yōu)異的啟動性能
易于清潔
技術指標
FRG-700/702 全量程復合規(guī) |
測量范圍 | 5 x 10-9 到 1000 mbar(3.8 x 10-9 到 760 Torr) |
準確度 | ± 30 % 讀數,典型值 |
重復性 | ± 5% 讀數,典型值 |
安裝方向 | 任意 |
允許溫度(周圍環(huán)境) | 操作存儲 | 烘烤溫度* | (皮拉尼) | 燈絲溫度 |
5 到 55 °C | –40 到 + 65 °C | 150°C | 120 °C |
電源電壓 | 在規(guī)管處 | 脈動 | 能耗 |
15 到 30 VDC | ≤ 1 Vpp | ≤ 2 W |
輸出信號(測量信號) | 電壓范圍 | 測量范圍 |
0 到 10.5 V | 1.82 到 8.6 V |
電壓與壓力關系 | 0.6 V/十進制, 對數的 |
錯誤信號 | < 0.5 V(無輸入),> 9.5 V(皮拉尼傳感器,燈絲斷裂) |
*小負載阻抗 | 10 kΩ,短路保護 |
響應時間 | < 10 ms(當壓力大于 10-6 mbar 時),≈ 1000 ms(當壓力等于 10-8 mbar 時) |
識別規(guī)管 | 85 kΩ,參照常見供應 |
狀態(tài) | 僅皮拉尼規(guī)模式 | 復合皮拉尼/冷陰極模式 | LED |
0 V(低) | 15 V到 30(高) | 綠色 LED 亮即表示高電壓開 |
電氣連接 | FCC 68 應用連接器,8芯,內孔式配件 |
傳感器電纜 | 8 芯加屏蔽 |
*大電纜長度 | ≤ 50 m |
工作電壓/電流 | ≤ 3.3 kV/≤ 500 A |
暴露于真空中的材料 | SS,Al2O3,FPM75,Mo,Ni,Au,W |
內部體積 | ≈ 20 cm3 |
重量 | DN 25 ISO-KF ≈ 700 g,DN 40 CF ≈ 980 g |
標準 | EN 61000-6-2,EN 61000-6-3,EN 61010-1 |