安捷倫Agilent CDG-500 電容薄膜規(guī)管
Agilent CDG-500 系列溫度補(bǔ)償電容薄膜規(guī)管可以在高壓范圍內(nèi)提供較高精度??商峁?1000 Torr 至 1 Torr 的全量程測(cè)量。CDG-500 系列采用耐腐蝕的超純氧化鋁瓷隔膜,可提供超常的信號(hào)穩(wěn)定性,并具有從大氣環(huán)境中快速恢復(fù)、預(yù)熱時(shí)間短和堅(jiān)固性****的特點(diǎn)。
特性
全量程從 1 至 1000 Torr,按鈕調(diào)零,可選設(shè)定點(diǎn)控制使一體化更加方便
優(yōu)異的長(zhǎng)期信號(hào)穩(wěn)定性和重現(xiàn)性
從大氣壓下恢復(fù)迅速,啟動(dòng)后迅速達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài),縮短了過程循環(huán)時(shí)間
采用耐腐蝕陶瓷傳感器和屏蔽保護(hù),確保了堅(jiān)固耐用
技術(shù)指標(biāo)
測(cè)量范圍(全量程) | Torr | 1000 | 100 | 10 | 1 |
Pa | 133,322 | 13,332 | 1,333 | 133 |
mbar | 1333 | 133 | 13.3 | 1.3 |
讀數(shù) (%) | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
溫度效應(yīng) 零 | 零 | 全量程%/°C | 0.005 | 0.005 | 0.005 | 0.015 |
跨度 | 讀數(shù) (%)/°C | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 |
分辨率 | 全量程% | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 |
*大壓力 | kPa(**壓力) | 400 | 260 | 260 | 260 |
*低讀數(shù) | 全量程% | 0.01 |
建議*低讀數(shù) | 全量程% | 0.05 |
建議*低控制壓力 | 全量程% | 0.05 |
溫度 | 操作(周圍環(huán)境) | 烘烤溫度 (法蘭處)2 | 儲(chǔ)存 |
5 到 50 ℃ | < 110 °C | –40 到 65 °C |
電源電壓 | 14 到 30 VDC |
能耗 | < 1 W |
輸出信號(hào)(模擬) | 0 到 10 VDC |
響應(yīng)時(shí)間 | 30 ms |
防護(hù)等級(jí) | IP30 |
電氣連接 | D-Sub,15 針,內(nèi)螺紋 |
設(shè)定點(diǎn)3 — 二 (2) 個(gè)設(shè)定點(diǎn),SP 1 和 SP 2 | 繼電器觸點(diǎn) | 滯后 |
30 VDC;< 0.5 ADC | 全量程的 1% |
暴露于真空中的材料 | 氧化鋁陶瓷 (Al2O3),Vacon 704,不銹鋼 (AlSl 316L5) AgCuTi 釬焊,密封玻璃 |