Alicat MS系列質(zhì)量流量計
采用316L不銹鋼結(jié)構(gòu)以抵擋NH3、H2S、SiH4等腐蝕性氣體， “主要參數(shù)”欄目下方可查看設(shè)備預(yù)置腐蝕性氣體列表，量程范圍：0~0.5 sccm 至 0~4000 slpm。
標準精度 (NIST可溯源): +/- (0.8% Rdg + 0.2% F.S)
高精度 (選配): +/- (0.4% Rdg + 0.2% F.S)
以上精度適用于所有預(yù)置氣體及通過氣體編輯器(COMPOSER™)生成的自定義氣體
典型質(zhì)量流量計響應(yīng)時間常數(shù): 5 毫秒 (超低流量下可能為10毫秒)
多種氣體標定: 氣體選擇(Gas Select™)5.0版預(yù)置多達130種常用氣體，另內(nèi)置氣體編輯器(COMPOSER™)允許用戶自定義混合氣體
滿量程范圍: 0-0.5 sccm 至 0-4000 slpm
常規(guī)設(shè)備線性范圍: 0.5-99% F.S, 量程可調(diào)比 200:1
316L結(jié)構(gòu)設(shè)備線性范圍: 1-99% F.S, 量程可調(diào)比 100:1 (MS系列)
**允許管路壓力: 145 psig (標準) / 50 psig (MW低壓損系列)
常規(guī)設(shè)備滿量程壓損: 1-9 psi, 取決于流量范圍
“Whisper” 低壓損系列(MW)滿量程壓損: 0.06-0.69 psi, 取決于流量范圍
標準通訊方式: RS-232數(shù)字通訊和0-5v模擬通訊
選配模擬通訊: 1-5v, 0-10v, 4-20 mA; 第二道模擬輸出信號可選
選配通訊協(xié)議: RS-485, Modbus RTU (基于RS-232或RS-485), PROFIBUS
通訊接口: 8針mini-DIN
選配通訊接口: 9針或15針D-sub接口, 可定制引腳分配
動態(tài)顯示質(zhì)量流量、體積流量、**壓力和溫度等過程參數(shù)
標準顯示屏: 2.1″ 單色LCD數(shù)字式觸摸顯示屏
選配顯示屏: 2.1″ 背光彩色TFT數(shù)字式觸摸顯示屏
有條件的終身質(zhì)保
對撞擊、潮濕環(huán)境、安裝方向等不敏感
MS-0.5SCCM-D/5M,GAS:Air，液晶顯示，精度1%，0-5V輸出，空氣（可選則：輸出方式與輸出參數(shù)、報警、氣體種類、累積器）
MS-1SCCM-D/5M,GAS:Air
MS-2SCCM-D/5M,GAS:Air
MS-5SCCM-D/5M,GAS:Air
MS-10SCCM-D/5M,GAS:Air
MS-20SCCM-D/5M,GAS:Air
MS-50SCCM-D/5M,GAS:Air
MS-100SCCM-D/5M,GAS:Air
MS-200SCCM-D/5M,GAS:Air
MS-500SCCM-D/5M,GAS:Air
MS-1SLPM-D/5M,GAS:Air
MS-2SLPM-D/5M,GAS:Air
MS-5SLPM-D/5M,GAS:Air
MS-10SLPM-D/5M,GAS:Air
MS-20SLPM-D/5M,GAS:Air
MS-50SLPM-D/5M,GAS:Air
MS-100SLPM-D/5M,GAS:Air
MS-250SLPM-D/5M,GAS:Air
MS-500SLPM-D/5M,GAS:Air
MS-1000SLPM-D/5M,GAS:Air

Alicat MCS/MCRS 耐腐蝕質(zhì)量流量控制器系列質(zhì)量流量控制器
采用316L不銹鋼結(jié)構(gòu)以抵擋NH3、H2S、SiH4等腐蝕性氣體， “主要參數(shù)”欄目下方可查看設(shè)備預(yù)置腐蝕性氣體列表，量程范圍：0~0.5 sccm 至 0~3000 slpm
Alicat MS/MCS/MCRS系列適用于腐蝕性氣體的質(zhì)量流量計&質(zhì)量流量控制器
MS/MCS/MCRS系列–316L不銹鋼結(jié)構(gòu),適用于腐蝕性氣體
MCS-0.5SCCM-D/5M,5IN,GAS:Air，液晶顯示，精度1%，0-5V輸入輸出，空氣（可選則：輸入輸出方式與參數(shù)、報警、氣體種類、累積器）
MCS-1SCCM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCS-2SCCM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCS-5SCCM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCS-10SCCM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCS-20SCCM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCS-50SCCM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCS-100SCCM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCS-200SCCM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCS-500SCCM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCS-1SLPM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCS-2SLPM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCS-5SLPM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCS-10SLPM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCS-20SLPM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCS-50SLPM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCRS-100SLPM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCRS-250SLPM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCRS-500SLPM-D/5M,5IN,GAS:Air
MCRS-1000SLPM-D/5M,5IN,GAS:Air