近日，天津市計(jì)量院長(zhǎng)度計(jì)量技術(shù)研究部新建的“掃描電子顯微鏡校準(zhǔn)裝置”社會(huì)公用計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)順利通過市市場(chǎng)監(jiān)管委考核。標(biāo)準(zhǔn)器配置一維柵格、二維柵格，已建立掃描電子顯微鏡(SEM)校準(zhǔn)裝置計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)，測(cè)量范圍為(100～2000)nm；配置的臺(tái)階高度樣板，測(cè)量范圍為(20nm～20μm)，可提供掃描探針顯微鏡(SPM)、原子力顯微鏡(AFM)、掃描隧道顯微鏡(STM)、臺(tái)階儀等儀器的校準(zhǔn)服務(wù)；配置的6種能譜元素標(biāo)樣，可提供能譜儀器的測(cè)試服務(wù)。該項(xiàng)社會(huì)公用計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)的建立對(duì)提升天津地區(qū)微納米測(cè)試領(lǐng)域校準(zhǔn)能力具有重要意義，填補(bǔ)了地區(qū)微納米測(cè)試領(lǐng)域的空白。
 

(圖片來源：天津市計(jì)量院)
 

　　目前，納米科學(xué)技術(shù)已經(jīng)成為全球研究的熱點(diǎn)領(lǐng)域之一，無論在基礎(chǔ)前沿研究還是在高新產(chǎn)業(yè)應(yīng)用中均具有重要意義。掃描電子顯微鏡利用聚焦的電子束在樣品表面逐點(diǎn)掃描，電子與樣品作用產(chǎn)生二次電子信號(hào)以及背散射電子信號(hào)，由此獲得表面形貌圖像，可以達(dá)到納米級(jí)的分辨力。市計(jì)量院配置一維二維柵格標(biāo)準(zhǔn)器、臺(tái)階高度樣板等多種計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器后，將初步建立并進(jìn)一步完善本地區(qū)的納米幾何特征參量量值溯源體系。
 

　　我國(guó)在納米技術(shù)領(lǐng)域的科學(xué)技術(shù)研究位居國(guó)際前列，納米技術(shù)相關(guān)產(chǎn)業(yè)正處在快速發(fā)展上升時(shí)期。市計(jì)量院長(zhǎng)度計(jì)量技術(shù)研究部主要負(fù)責(zé)同志表示，將深入學(xué)習(xí)貫徹黨的二十屆三中全會(huì)精神，立足檢測(cè)市場(chǎng)需求，持續(xù)強(qiáng)化創(chuàng)新力度，不斷推動(dòng)計(jì)量事業(yè)實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量發(fā)展。同時(shí)，歡迎全國(guó)各方計(jì)量同仁來電咨詢，洽談合作事宜。